Από αυτά που περιγράφεις, μάλλον δεν έχεις πλέον καθαρά μηχανικό πρόβλημα αλλά θέμα tuning μεταξύ servo response και interpolation planner. Το ότι σε μονοαξονική κίνηση όλα είναι σταθερά δείχνει ότι οι ενεργοποιητές λειτουργούν σωστά μεμονωμένα. Συνήθως τα προβλήματα εμφανίζονται όταν ο CNC controller πρέπει να συγχρονίσει acceleration profiles διαφορετικών αξόνων σε πραγματικό χρόνο.
Θα κοίταζα πρώτα αν όλοι οι άξονες έχουν πραγματικά ίδιο velocity loop bandwidth και όχι μόνο ίδιες nominal παραμέτρους. Ακόμα και μικρή διαφορά στην απόκριση μπορεί να δημιουργήσει overshoot στις γωνίες ή lag σε διαγώνια τροχιά. Επίσης αρκετά CNC συστήματα χρειάζονται corner smoothing ή look-ahead interpolation ενεργοποιημένο, αλλιώς οι μεταβάσεις γίνονται “σπαστές”.
Κάτι άλλο που έχω δει σε linear actuators είναι διαφορετικό φορτίο ανά άξονα. Σε χαμηλές ταχύτητες δεν φαίνεται, αλλά σε σύνθετη παρεμβολή ο controller αρχίζει να “κυνηγά” συνεχώς τη θέση και χάνει συγχρονισμό. Θα βοηθούσε επίσης να δεις actual following error logs ανά άξονα κατά τη διάρκεια της διαγώνιας κίνησης.